1、膜分離技術
膜法多元混合氣體分離是20世紀80年代后期，隨高分子材料技術發展而迅速發展起來的一項高新技術。等離子光氧催化一體機其作用機理是利用不同氣體在高分子膜中的通過能力/擴散能力以及速度不同而實現氣體分離。
氣體分子在膜高壓側溶解于膜中，并在膜兩側分壓差驅動下，在膜中擴散，并從低壓側脫逸。溶解/擴散利用不同組分在膜材料中溶解/擴散的速度具有很大差異，從而將各組份分離。
該技術特點是，占地和投資相對小、運行費用較低。缺點是單獨應用膜分離技術通常無法將各組分完全分離，因此該技術需要與傳統工藝結合使用。可以將該技術作為預處理單元使用，去除大部分的目標氣體，然后輔助常規處理技術，能取得更好的效果。
2、等離子技術
等離子技術原理是利用NS級的高壓脈沖電流進行放電，在常溫常壓環境中，獲得非平衡等離子體。介質阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能。這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團。同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可以產生大量的新生態氫、臭氧和輕基氧等活性基團。這些活性基團相互碰撞后便引起一系列復雜的物理、化學反應。光氧催化一體機從等離子體活性基團組成可以看出，等離子體內部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，最終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
等離子技術對廢氣組成沒有選擇性，而且能量極高，幾乎所有污染物分子都能從分子結構上被破壞，從而得到凈化。具有較大的發展空間。
3、紫外光催化氧化技術
紫外光催化氧化技術是在光的作用下進行化學反應。反應機理是利用高能紫外光束照射，使被照射介質原本穩定的化學鍵受到破壞，成為游離狀態的分子。同時，紫外光分解空氣中的氧分子，產生游離氧。進而產生臭氧。臭氧對有機物具有極強的氧化作用，臭氧繼而將游離態的污染物分子氧化成無害物質。以此減少污染物排放。
使用紫外光解處理三苯過程中，可以使用二氧化鈦做光解催化劑，能加快分解速度，還可以選用光觸媒、溶菌酶等多種催化劑。
雖然廢氣處理凈化技術路線較多，但是各種處理技術均有其自身的優缺點。所以加大新興技術的研究和使用，UV光氧除塵器在處理具體的廢氣過程中，應根據各種工藝特點，靈活應用。利用投資和運行成本較低的技術做預處理，利用投資較大但運行效果較理想的技術做深度處理，使尾氣凈化流程更加合理。這是將來處理化工廢氣的一個新的發展趨勢。
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